F00500 - SEMI F5 - ガス状廃棄物処理のガイドライン Revision:SEMI F5-1101 - Inactive SEMI E84 — Specification for

SEMI E84 — Specification for Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O interface

本スタンダードの目的は製造装置内の基板（製造された製品）のトラッキング装置が実行する標準的なサービスを記すことである。本スタンダードは基板情報管理に関する概念，挙動，およびメッセージ／サービスも定義する。

this Practice defines a wafer coordinate system to facilitate the precise locating and reporting of points on the wafer surface

3DS-IC Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2012年8月30日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2012年9月にwww

F00500 - SEMI F5 - ガス状廃棄物処理のガイドライン Revision:SEMI F5-1101 - Inactive SEMI E84 — Specification forNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI Global Environmental Health and Safety CommitteeNorth American Environmental Health & Safety Committee2001827North American Regional Standards Committee20019www. semi. org2001111990 NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an