M06800 - SEMI M68 - 測定した高さデータ配列から曲率法ZDDを使ってウェーハのエッジ近傍形状を決定するための作業方法 Revision:SEMI M68-1109 - Superseded SEMI D22-1109 (technical revision)

SEMI D22-1109 (technical revision)

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本書は，超純水（UPW）配分システムでのUPWの運搬に適した超高純度（UHP）ポリマー材料およびポリマー製部品に対する最低限の性能要求条件を規定する。UPWシステムに関する詳細な情報については，SEMI　F61を参照すること。

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M06800 - SEMI M68 - 測定した高さデータ配列から曲率法ZDDを使ってウェーハのエッジ近傍形状を決定するための作業方法 Revision:SEMI M68-1109 - Superseded SEMI D22-1109 (technical revision)global Silicon Wafer Committee200994global Audits and Reviews Subcommittee200910www. semi. org200911CD ROM20073200811 ZDD Referenced SEMI Standards SEMI M1 Specifications for Polished Monocrystalline Silicon Wafers SEMI M20 Practice for Establishing a Wafer Coordinate System SEMI M59 Terminology for Silicon Technology SEMI M67 Practice for Determining Wafer Near Edge Geometry from a Measured Thickness Data Array Using the ESFQR, ESFQD and ESBIR