F08000 - SEMI F80 - Test Method for Determination of Gas Change/Purge Efficiency of Gas Delivery System StdTpc-Physical Interfaces 本スタンダードでは，FPDカラーフィルタに使用される高抵抗樹脂ブラックマトリクス（BM）の指定された特性を測定するための実施要領を確立するものとする。これらの方法は，製造，品質管理，および開発業務に応用することができる。

本スタンダードでは，FPDカラーフィルタに使用される高抵抗樹脂ブラックマトリクス（BM）の指定された特性を測定するための実施要領を確立するものとする。これらの方法は，製造，品質管理，および開発業務に応用することができる。

1  The first purpose of this Specification and Guide is to standardize requirements for Grades of sulfuric acid used in the semiconductor industry and to document testing procedures that may be used to support those requirements

SEMI G41-87 (first published)

SEMI MF154-1105 (Reapproved 1221)

F08000 - SEMI F80 - Test Method for Determination of Gas Change/Purge Efficiency of Gas Delivery System StdTpc-Physical Interfaces 本スタンダードでは，FPDカラーフィルタに使用される高抵抗樹脂ブラックマトリクス（BM）の指定された特性を測定するための実施要領を確立するものとする。これらの方法は，製造，品質管理，および開発業務に応用することができる。This Document is a guide to a test method to determine gas change purge efficiency of gas delivery system. It covers both conventional metal face sealing and surface mount gas delivery systems. This Test Method applies to all type of high purity gas delivery systems used in semiconductor manufacturing facilities and comparable research and development areas. Referenced SEMI Standards None.