D06300 - SEMI D63 - Test Method for Depolarization Effect of FPD Color Filter StdPbc-1020 and maintainability (RAM) and utilization

and maintainability (RAM) and utilization performance of equipment in a manufacturing environment

microelectromechanical systems/nanoelectromechanical systems [MEMS/NEMS])

この文書の目的は，半導体製造装置の中で静電気電荷および電界に起因した生産性への悪影響を最小にすることである。本文書は，半導体製造に使われる装置が静電気的な両立性を確立するためのガイドである。半導体工場全体の静電気的な両立性は，SEMI E129に述べている。

Flat Panel Display Equipment Committeeで技術的に承認されたもので，North American Flat Panel Display Committeeが直接責任を負うものである。現版は，1998年8月15日にNorth American Regional Standards Committeeに承認されている。1998年9月にまずwww

D06300 - SEMI D63 - Test Method for Depolarization Effect of FPD Color Filter StdPbc-1020 and maintainability (RAM) and utilizationThis Standard establishes implementation practices for testing the depolarization effect of FPD color filters. These methods can be applied to manufacturing, quality control, and development work. This Standard specifies measuring methods. In this Standard, the depolarization effect of color filters is obtained by measuring the reduction in polarization efficiency when polarized light passes through color filters. Referenced SEMI Standards (purchase